Оборудование для полупроводниковой промышленности должно отличаться высокой точностью, поэтому к его комплектующим и сборке предъявляются особые требования. Компании, которые выпускают агрегаты для производства и обработки деталей электроники, имеют суперсовременные производственные комплексы. Наличие высококвалифицированных инженеров и современного программного обеспечения — обязательные условия производства высокоточных станков, систем и установок.
Особенно популярны шлифовальные станки и системы монтажа пластин Anda Semiconductor Technology, с техническими и эксплуатационными характеристиками которых можно ознакомиться на сайте компании. Здесь вы можете задать любой интересующий вопрос в специальной форме обратной связи. Опытные специалисты помогут вам лучше разобраться с возможностями техники и сделать правильный выбор.
Виды техники
Номенклатура оборудования для полупроводниковой промышленности широка и разнообразна. Это обуславливается огромным перечнем задач, которые приходится выполнять в этой сфере. К самым востребованным видам техники можно отнести:
- вакуумные насосы;
- оборудование для лазерной обработки;
- агрегаты вакуумного и магнетронного осаждения;
- шлифовальные станки;
- системы оптической литографии;
- устройства для плазмохимического и реактивного ионного травления;
- антивибрационная защита.
Даже этот неполный список включает в себя десятки единиц узкоспециализированного оборудования для полупроводниковой промышленности.
Характеристики оборудования
Одним из наиболее распространенных в полупроводниковом производстве видов оборудования являются вакуумные насосы. Вся высоковакуумная насосная техника работает в диапазоне низких давлений. Турбомолекулярные и диффузионные насосы сжимают откачиваемый газ до требуемого значения давления, после чего форвакуумный аппарат дожимает его до атмосферного и выводит в окружающую среду.
Механизм откачки криогенных приборов заключается в криосорбции и конденсации газа на холодных поверхностях. Ионные устройства производят откачку посредством образования устойчивых химических связей с предварительно распыленным титаном.
Станки для лазерной металлических изделий сегодня используются на многих производствах. В отличие от штамповки, для получения контурных деталей не требуется изготовление специальной оснастки (штампов), рез получается точным и качественным, не требующим дополнительной обработки.
Основным инструментом при лазерной резке является луч, который достаточно сфокусировать в нужном месте. Металл разрушается вследствие высокой плотности энергии. Кроме того, луч лазера монохроматичен, поэтому значения частоты и длины волны — величины постоянные. Лазер можно сконцентрировать даже на очень небольшом участке, что очень важно для полупроводниковых деталей малых размеров. И самое главное, это возможность увеличить мощность луча в несколько раз за счет резонанса.
В микроэлектронике и при производстве печатных плат широко применяется способ фотолитографии, суть которого заключается в получении на поверхности материала определенного рисунка. Метод основан на том, что на плоскость обработки наносится фоточувствительная пленка очень малой толщины. После чего происходит ее засвечивание с необходимым рисунком через фотошаблон, проэкспонированные зоны удаляют в проявителе.
При помощи специального оборудования можно добиться получения мельчайших узоров. Такая техника имеет суперсовременную оптику, длина световых волнн в которой достигает 100 нм.
Техника Anda Semiconductor Technology
Основанная в 2002 году, компания за это время выпустила десятки единиц высокотехнологичных агрегатов и материалов для полупроводниковой промышленности. Клиентами Anda Semiconductor Technology являются такие всемирно известные бренды, как Epson, Microsoft, AMD, Samsung, Sony, IBM, DELL и другие производители компьютерной и цифровой техники.
Большим спросом пользуются станки двусторонней шлифовки от Anda Semiconductor Technology. Они отличаются высокой системы контроля толщины и автоматической функцией выравнивания пластин. Благодаря точной регулировке скорости удается достичь отличной повторяемости результатов от пластине к пластине. Шлифовальный станки Anda Semiconductor Technology оснащены многоступенчатой системой программирования, что позволяет быстро менять условия обработки.
Также в полупроводниковой промышленности используется такой вид оборудования, как установки монтажа пластин. Модель NTS-360-i12 от Anda Semiconductor Technology позволяет устанавливать элементы Ø 50 мм и Ø 100 мм на нагреваемые керамические блоки. Нагрев производится бесконтактным способом, подача пластин осуществляется в кассетах, что способствует высокой скорости выполнения операций.